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个人信息：Personal Information
副教授
主要任职：专人教师
其他任职：无
性别：男
毕业院校：ITMO University
学历：博士研究生毕业
学位：工学博士
在职信息：在岗
所在单位：集成电路学院
办公地点：集成电路学院
联系电话：18223340509
电子邮箱：
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Research on the influence of aperture process defects on the measurement precision and accuracy of autocollimator and compensation methods
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发表刊物：Optics Express
论文类型：期刊论文
文献类型：J
卷号：32
期号：(26)
是否译文：否
发表时间：2025-03-22
收录刊物：SCI